導入事例

ご納入先

  • 旭硝子株式会社
  • エプソン株式会社
  • 株式会社岡本機械製作所
  • シチズン株式会社
  • 株式会社住友電工
  • 株式会社創光科学
  • JDI株式会社
  • JOLET株式会社
  • デンソー株式会社
  • ㈱式会社東芝四日市工場
  • 株式会社富山村田製作所
  • 直江津電子工業株式会社
  • 株式会社ニコン
  • 株式会社ニコンインステック
  • 日亜化学株式会社
  • 日産化学株式会社
  • 日東電工株式会社
  • 日本ガイシ㈱
  • 日本電気硝子
  • 日本フィルコン株式会社
  • 株式会社富士フィルム
  • HOYA株式会社
  • 株式会社ホンダ
  • ローム株式会社
  • 英光産業株式会社
  • 株式会社三啓
  • 株式会社三明
  • 三明電子産業株式会社
  • ソフトワークス株式会社
  • ダイトエレクトロン株式会社
  • 株式会社ティ・エム・ピー
  • マトリックス株式会社
  • 株式会社菱光社

製作製品リスト

ウエハー外観検査機(1)

  • ウェハ表裏外観自動検査装置
  • 全自動ウェハ厚み測定機
  • 外観検査装置 (セミオート)
  • パターンウェハ裏面検査装置

 

ウエハー外観検査機(2)

  • ウェハエッジ自動検査機
  • ウェハエッジ形状測定モニタ/測定機
  • スタックカウンター
  • 貼合せウェハL/T測定機
  • ウェハテラス測定機
  • ウェハ厚み測定機

 

赤外顕微鏡

  • 赤外マクロ欠陥モニタ
  • システム顕微鏡 IRパターン測定(セミオート)
  • 貼合せウェハ内部パターン測定装置
  • IRウエハ赤外顕微鏡(全自動)

 

ニコン顕微鏡関係

  • 小型微分干渉顕微鏡
  • 小型顕微鏡ダブルカメラアダプタ
  • 偏光板微調回転ユニット
  • スーパーダークフィールド顕微鏡
  • Cマウントカメラ回転微調アダプタ
  • Fアダプタ回転アダプタ

 

MEMS両面顕微鏡

  • MEMS両面顕微鏡 セミオート
  • MEMS両面顕微鏡 手動
  • MEMS両面顕微鏡 高精度全自動 
  • アライメントマーク表裏ズレ測定機
  • 微小線幅パターン測定顕微鏡

 

スポット顕微鏡

  • 微小領域スポット顕微鏡 
  • 自動微小領域スポット両面顕微鏡 

 

大型顕微鏡

  • パネル配線G断検査装置(インライン) 
  • パネル異物検査装置
  • パネルエッジ自動検査装置(インライン)
  • 大型顕微鏡G8
  • 小型顕微鏡G6
  • パネル顕微鏡

 

開発中製品

  • 製品自動撮影装置
  • フィルタ外観検査装置
  • ウェハエッジモニタ
  • UVモニタ(アニサキスチェッカー)
  • パネル配置検査機
  • 小型両面顕微鏡

 

ガラス検査機

  • パネルパティクル高速画像検査装置
  • ガラスパネル厚み測定顕微鏡
  • ガラス内部欠陥検査装置 (セミオート)

 

フィルム関連

  • 高分子シート欠陥検査装置  (セミオート)
  • 樹脂フィルム外観検査装置 (セミオート)
  • シートフィルム外観検査装置 (セミオート)

 

光ファイバ関連

  • フェルール同軸度測定機
  • コア偏芯測定機
  • フェルールR面検査機
  • ファイバNFP測定機

 

その他

  • 雨粒を浮かす装置 (ベルヌイドロップ)
  • オートフォーカス顕微鏡
  • 画像オートフォーカスユニット
  • 多ピン曲がり検査装置
  • エルミエール
  • しじみ検査機