導入事例

ウエハー外観検査機（１）

• ウェハ表裏外観自動検査装置
• 全自動ウェハ厚み測定機
• 外観検査装置　（セミオート）
• パターンウェハ裏面検査装置

ウエハー外観検査機（２）

• ウェハエッジ自動検査機
• ウェハエッジ形状測定モニタ/測定機
• スタックカウンター
• 貼合せウェハL/T測定機
• ウェハテラス測定機
• ウェハ厚み測定機

赤外顕微鏡

• 赤外マクロ欠陥モニタ
• システム顕微鏡　IRパターン測定（セミオート）
• 貼合せウェハ内部パターン測定装置
• IRウエハ赤外顕微鏡（全自動）

ニコン顕微鏡関係

• 小型微分干渉顕微鏡
• 小型顕微鏡ダブルカメラアダプタ
• 偏光板微調回転ﾕﾆｯﾄ
• スーパーダークフィールド顕微鏡
• Cマウントカメラ回転微調アダプタ
• Fアダプタ回転アダプタ

MEMS両面顕微鏡

• MEMS両面顕微鏡　セミオート
• MEMS両面顕微鏡　手動
• MEMS両面顕微鏡　高精度全自動　
• アライメントマーク表裏ズレ測定機
• 微小線幅パターン測定顕微鏡

スポット顕微鏡

• 微小領域スポット顕微鏡　
• 自動微小領域スポット両面顕微鏡　

大型顕微鏡

• パネル配線G断検査装置（インライン）　
• パネル異物検査装置
• パネルエッジ自動検査装置（インライン）
• 大型顕微鏡G8
• 小型顕微鏡G6
• パネル顕微鏡

開発中製品

• 製品自動撮影装置
• フィルタ外観検査装置
• ウェハエッジモニタ
• UVモニタ（アニサキスチェッカー）
• パネル配置検査機
• 小型両面顕微鏡

ガラス検査機

• パネルパティクル高速画像検査装置
• ガラスパネル厚み測定顕微鏡
• ガラス内部欠陥検査装置　（セミオート）

フィルム関連

• 高分子シート欠陥検査装置　　（セミオート）
• 樹脂フィルム外観検査装置　（セミオート）
• シートフィルム外観検査装置　（セミオート）

光ファイバ関連

• フェルール同軸度測定機
• コア偏芯測定機
• フェルールR面検査機
• ファイバNFP測定機

その他

• 雨粒を浮かす装置　（ベルヌイドロップ）
• オートフォーカス顕微鏡
• 画像オートフォーカスユニット
• 多ピン曲がり検査装置
• エルミエール
• しじみ検査機