自動検査機

ガラス内部異物検査機 GEX2000S

ガラス基板の内部欠陥検査装置です。

最新の光技術と速検査法で、透明ガラス内部の深さを層に分け欠陥を光らせてスキャン検査します。

 


液晶パネルパーティクル検査機 FPA-5000

洗浄後基板のパーティクル異物を高速・高精度に検査します。自動搬送で基板を受けラインレーザーとラインカメラでスキャン検査をしてパーティクルの散乱を検出します。

 


透明ウェハ外観検査機

サファイア、SICなど透明ウェハの自動外観検査機です。

AFが透明面を瞬時に見つけ微分顕微鏡と高感度ラインカメラ撮影で検査します。

 


AR膜欠陥検査装置 EX2001S

ガラス基板の反射防止膜の欠陥検査機です。透明基板の表面や裏面を倒立顕微鏡とラインカメラで高速スキャン検査して欠陥検査をします。

 


表裏外観自動検査機

LT&Si ウエハの表裏外観欠陥を自動検査します。4“.6“、3カセット、検出精度 30μm、1 枚 1 分表裏2ステーションで検査します。システム PLC 制御です。