研究開発用

MEMSセミオート TMA2000A

ウエハを表裏から両面顕微鏡カメラで撮影して露光テストのマークズレやパターン線幅を 高精度にセミオート測定します。登録マークをパタンマッチングの検出や、表裏の光軸ズ レを自動校正して表裏マークの中心ズレや回転ズレ測定、線や線幅を自動測定します。

測定精度 :表裏マークズレ 0.5μm、パターンズレ 0.1μm

※電動回転ステージでウエハの回転補正と露光パターンのズレ測定ができます。

 


赤外顕微鏡

ウェハの表面と内部を可視/赤外/(紫外)の分光顕微鏡画像で測定するシステム顕微鏡です。ステップtoステップでのワーク移動と自動焦点画像検査ができます。

 


ガラス厚み測定顕微鏡 (両面高さ測定顕微鏡)

表裏2台の顕微鏡でガラスの厚みを非接触で精密測定する顕微鏡です。

ワークの表と裏を2台の顕微鏡カメラで上下からモニターしてフォーカスマークを一致させると変位計で厚みとして演算表示します。


スタックカウンター

Model SWC-1000、2000

 

出荷容器や専用ホルダにセットしたウェハの枚数をカウントします。

カメラタイオウ、ラインセンサタイプなど各種対応します。

 


測長顕微鏡

最大60“までのモジュール製品を顕微鏡検査する測長顕微鏡です。延長鏡筒で手元からの目視検査とモニター検査ができます。

XY軸はリニアステージで1400mm×900mm/1μm駆動、Z軸は200mm電動制御できます。明視野透過・反射検査、微分干渉検査が電動レボルバとオートフォーカスで合焦画像検査ができます。


メインローラ検査機 MRI-1500

ワイヤー切断機のメインローラー溝形状検査機です。現場でローラーに検査機を載せ溝形状プロファイルモニターと形状の画像計測ができます。


しじみ検査機 SWI-100

おいしいしじみを見つけます。

ポータブル型で1個ずつ載せると中身の良否を画像検査して砂が入っているものは100%確認できます。

 


BGウエハ検査機 UMC-1000

ウエハ外周上面のテラス幅や端部をラインカメラで計測や欠陥検査ができます。セットプレートにウエハを載せるとオートアライメントと自動検査をハイスループット1枚30秒で検査します。


ソーラウエハ厚み検査機 WPC-2000

ソーラウェハを揃えてセットするだけでウェハの枚数と1枚ずつの厚みを計測します。自動機では計れない端面側の厚み管理ができます。


ハイソメットZ軸自動高さ測定機

非接触で高さや段差を測定します。高精度に使い易く自動測定機にシステムアップしました。

スプリットラインの自動検出と画像Z軸制御で表面を自動検出して測定値を検査表に書き込みます。分解能0.1μm以下の精度で計測。