機能フィルム検査機

AR膜欠陥検査装置 EX2001S

ガラス基板の反射防止膜の欠陥検査機です。透明基板の表面や裏面を倒立顕微鏡とラインカメラで高速スキャン検査して欠陥検査をします。

 


シート外観自動検査機 SIMA-3000

ガラス基板の内部欠陥検査装置です。A4サイズまでの基板内部の欠陥を断層毎に特殊顕微鏡で高感度検査をします。欠陥個所のレビュー機能が付属しています。検査結果はマクロマップと欠陥データで表示します。