ウエハを表裏から両面顕微鏡カメラで撮影して露光テストのマークズレやパターン線幅を 高精度にセミオート測定します。登録マークをパタンマッチングの検出や、表裏の光軸ズ レを自動校正して表裏マークの中心ズレや回転ズレ測定、線や線幅を自動測定します。
測定精度 :表裏マークズレ 0.5μm、パターンズレ 0.1μm
※電動回転ステージでウエハの回転補正と露光パターンのズレ測定ができます。
ガラス基板の内部欠陥検査装置です。A4サイズまでの基板内部の欠陥を断層毎に特殊顕微鏡で高感度検査をします。欠陥個所のレビュー機能が付属しています。検査結果はマクロマップと欠陥データで表示します。