最新検査機

ウエハを表裏から両面顕微鏡カメラで撮影して露光テストのマークズレやパターン線幅を 高精度にセミオート測定します。登録マークをパタンマッチングの検出や、表裏の光軸ズ レを自動校正して表裏マークの中心ズレや回転ズレ測定、線や線幅を自動測定します。

測定精度 :表裏マークズレ 0.5μm、パターンズレ 0.1μm

※電動回転ステージでウエハの回転補正と露光パターンのズレ測定ができます。

ウェハの表面と内部を可視/赤外/（紫外）の分光顕微鏡画像で測定するシステム顕微鏡です。ステップtoステップでのワーク移動と自動焦点画像検査ができます。

ガラス基板の内部欠陥検査装置です。A4サイズまでの基板内部の欠陥を断層毎に特殊顕微鏡で高感度検査をします。欠陥個所のレビュー機能が付属しています。検査結果はマクロマップと欠陥データで表示します。

LT&Si ウエハの表裏外観欠陥を自動検査します。4“.6“、3カセット、検出精度 30μm、1 枚 1 分表裏2ステーションで検査します。システム PLC 制御です。