パネル検査機

ガラス厚み測定顕微鏡 (両面高さ測定顕微鏡)

表裏2台の顕微鏡でガラスの厚みを非接触で精密測定する顕微鏡です。

ワークの表と裏を2台の顕微鏡カメラで上下からモニターしてフォーカスマークを一致させると変位計で厚みとして演算表示します。


ガラス内部異物検査機 GEX2000S

ガラス基板の内部欠陥検査装置です。

最新の光技術と速検査法で、透明ガラス内部の深さを層に分け欠陥を光らせてスキャン検査します。

 


ソーラウエハ厚み検査機 WPC-2000

ソーラウェハを揃えてセットするだけでウェハの枚数と1枚ずつの厚みを計測します。自動機では計れない端面側の厚み管理ができます。


液晶パネルパーティクル検査機 FPA-5000

洗浄後基板のパーティクル異物を高速・高精度に検査します。自動搬送で基板を受けラインレーザーとラインカメラでスキャン検査をしてパーティクルの散乱を検出します。

 


測長顕微鏡

最大60“までのモジュール製品を顕微鏡検査する測長顕微鏡です。延長鏡筒で手元からの目視検査とモニター検査ができます。

XY軸はリニアステージで1400mm×900mm/1μm駆動、Z軸は200mm電動制御できます。明視野透過・反射検査、微分干渉検査が電動レボルバとオートフォーカスで合焦画像検査ができます。