ウエハ検査機

ウェハの検査機です。単純パターンの比較検査機でラインカメラで高速撮像して検査します。2"ダブルカセットからロード／アンロード検査をします。

LT&Si ウエハの表裏外観欠陥を自動検査します。4“.6“、3カセット、検出精度 30μm、1 枚 1 分表裏2ステーションで検査します。システム PLC 制御です。

ウエハを表裏から両面顕微鏡カメラで撮影して露光テストのマークズレやパターン線幅を 高精度にセミオート測定します。登録マークをパタンマッチングの検出や、表裏の光軸ズ レを自動校正して表裏マークの中心ズレや回転ズレ測定、線や線幅を自動測定します。

測定精度 :表裏マークズレ 0.5μm、パターンズレ 0.1μm

※電動回転ステージでウエハの回転補正と露光パターンのズレ測定ができます。

ウェハの表面と内部を可視/赤外/（紫外）の分光顕微鏡画像で測定するシステム顕微鏡です。ステップtoステップでのワーク移動と自動焦点画像検査ができます。

サファイア、SICなど透明ウェハの自動外観検査機です。

AFが透明面を瞬時に見つけ微分顕微鏡と高感度ラインカメラ撮影で検査します。

ウエハ外周上面のテラス幅や端部をラインカメラで計測や欠陥検査ができます。セットプレートにウエハを載せるとオートアライメントと自動検査をハイスループット１枚30秒で検査します。

非接触で高さや段差を測定します。高精度に使い易く自動測定機にシステムアップしました。

スプリットラインの自動検出と画像Z軸制御で表面を自動検出して測定値を検査表に書き込みます。分解能0.1μm以下の精度で計測。

Model SWC-1000、2000

出荷容器や専用ホルダにセットしたウェハの枚数をカウントします。

カメラタイオウ、ラインセンサタイプなど各種対応します。

型式 BERMIC-1000

マスク欠陥の高精度レビュー検査顕微鏡で画面の微小領域にスリット露光できるスポット 顕微鏡です。レジストを塗布したマスクをステージに載せ欠陥検査機のデーターから欠陥 位置を自動再現して XY スリットで露光範囲を決め水銀スペクトルをタイマー露光するスポ ット照射顕微鏡です。

8”貼り合わせウエハの表面に可視で AF フォーカスして赤外顕微鏡で Si 内部パターンのパター ン寸法を画像測定する自動赤外顕微鏡です。2カセット、エッジグリップチャック、エッジアラ イナを搭載しています。

対象ウエハ 8”、2カセット、位置決め精度±1μm、軸ズレ測定±0.5μm、線幅測定 0.2μm