ウエハを表裏から両面顕微鏡カメラで撮影して露光テストのマークズレやパターン線幅を 高精度にセミオート測定します。登録マークをパタンマッチングの検出や、表裏の光軸ズ レを自動校正して表裏マークの中心ズレや回転ズレ測定、線や線幅を自動測定します。
測定精度 :表裏マークズレ 0.5μm、パターンズレ 0.1μm
※電動回転ステージでウエハの回転補正と露光パターンのズレ測定ができます。
非接触で高さや段差を測定します。高精度に使い易く自動測定機にシステムアップしました。
スプリットラインの自動検出と画像Z軸制御で表面を自動検出して測定値を検査表に書き込みます。分解能0.1μm以下の精度で計測。
型式 BERMIC-1000
マスク欠陥の高精度レビュー検査顕微鏡で画面の微小領域にスリット露光できるスポット 顕微鏡です。レジストを塗布したマスクをステージに載せ欠陥検査機のデーターから欠陥 位置を自動再現して XY スリットで露光範囲を決め水銀スペクトルをタイマー露光するスポ ット照射顕微鏡です。
8”貼り合わせウエハの表面に可視で AF フォーカスして赤外顕微鏡で Si 内部パターンのパター ン寸法を画像測定する自動赤外顕微鏡です。2カセット、エッジグリップチャック、エッジアラ イナを搭載しています。
対象ウエハ 8”、2カセット、位置決め精度±1μm、軸ズレ測定±0.5μm、線幅測定 0.2μm