光学検査機とは

私たちの業界は普段あまり目にする事がない場所で世界に貢献しております。

クリーンルームで作業する事が多いです。

クリーンルームとは、浮遊粉塵を排除するため清浄、温度、湿度等を管理してクリーンレベルに合うように制御されている区分けされたブースになります。

その中にもクリーン度がクラス分けされております。

クラス100とは１フィート立方中に0.5ミクロン以上の微粒子が100個以下である。1,000個以下はクラス1,000。同じように10,000個以下はクラス10,000。数字が小さい程ゴミの無い空間になります。

様々なワークがあります。機密契約を結んでいるのでお見せすることはできません。

参考としてこの様な製品があります。

母材となるウエハインゴットをカットして、作成したウエハ表面に傷がないかなどを検査します。

私たちがどの様な場所で、どの様なワークを検査しているか、イメージが湧いたでしょうか。

興味があれば簡易検証やデモ機も少し用意しておりますので、是非ご連絡をお待ちしております。

ひとつのキズでも照明の当て方によって様々な見え方をします。大事なのは光の当て方、キズや不純物の種類、物質の材質です。

その中で今回は代表的な光の当て方によって物質がどの様に変化するかご説明いたします。