製品情報

パターンズレ検査機

本装置は、ウエハ表裏面の異物、キズ、残渣の検出を目的とした表裏面検査機。
ウエハ外周およびOF1st、2stを自動認識してレシピに基づいて自動測定を行います。
明視野と暗視野を交互に切替ながら連続撮像させ、複数画像を合成させサンプルサイズに合わせることが可能。

本装置は、ウエハエッジ部分のベベルおよび端面のキズ、異物の検出を目的としたエッジ検査機。
オリフラ、ノッチ、印字を自動認識して検出除外を行い、レシピに基づいて自動測定を行います。
中間工程では裏面吸着、出荷工程ではエッジグリップも可能。

本装置は、ウエハエッジの輪郭形状の測定を目的としたプロファイル検査機。
オリフラもしくはノッチを自動認識してレシピに基づいて自動測定を行います。

本装置は、ウエハ表裏のパターンズレ測定、線幅測定、顕微鏡観察を目的としたパターンズレ検査機。
表裏面の同一座標にオートフォーカス機能でピント自動調整し、パターン検出後にマッチングを行い
表裏面のパターン中心ズレ、微小線幅を高精度自動測定を行います。

本装置は、複合ウエハ内部のパターンのズレ測定、線幅測定を目的とした赤外検査機。
貼り合せ内部の同一座標にオートフォーカス機能でピント自動調整し、パターン検出後にマッチングを行い貼り合せ内部のパターン中心ズレ、微小線幅を自動測定を行います。

本装置は、様々な業界で製造されている特殊フィルムのキズおよび周期性キズ、異物の検出を目的とした顕微鏡対物レンズ仕様のフィルムシート検査機。

ラインカメラで高速検査を行い、検出したポイントへ移動し、ミクロ検査を行います。
ターゲットに対して目視検査をする場合のためにスタンプやレーザでのマーキング機能を持たすこともできます。

本装置は、プロファイル測定機能を応用したプロファイルライン検査機。
通常のプロファイル検査では視野に制限が生じてしまいますが、プロファイルライン検査機では、サンプル形状が一方向に大きい場合に効果を発揮します。

本装置は、フィルムにウエハが貼り付けられた状態でダイシングし、エキスパンド後の分断状況の検査を目的とした表面検査機。
マクロ検査でMDとTDの流れ方向を検査し、ミクロ検査で分断の隙間距離を検査。

本装置は、様々な業界で製造されている特殊フィルムのキズおよび周期性キズ、異物の検出を目的としたフィルムシート検査機。
ラインカメラで高速検査を行い、検出したポイントへ移動し、ミクロ検査を行います。

本装置は、パネル基板やシート材料など大型サンプルを顕微鏡目視検査を目的としたマニュアル検査機。
検査項目は、顕微鏡ユニットが搭載され[同軸照明検査] [暗視野照明検査] [透過照明検査]が可能。
ワーク移動時はフリースライドとハンドル微調移動の2パターンがあります。

本装置は、地球上の大気と同じ風圧状態を疑似的に作り出し雨粒の形状などを観察を目的とした装置です。

垂直整流された上昇空気と軸流FANで外周部に高い圧力をもつ２層風流を作り弱い内部ポケットに雨粒を浮かすものです。

雨粒がどのような形をしているか浮遊する大きさを変えて観察できます。