Standard Model

本装置は、ウエハ表裏面の異物、キズ、残渣の検出を目的とした表裏面検査機。
ウエハ外周およびOF1st、2stを自動認識してレシピに基づいて自動測定を行います。
明視野と暗視野を交互に切替ながら連続撮像させ、複数画像を合成させサンプルサイズに合わせることが可能。

本装置は、ウエハエッジ部分のベベルおよび端面のキズ、異物の検出を目的としたエッジ検査機。
オリフラ、ノッチ、印字を自動認識して検出除外を行い、レシピに基づいて自動測定を行います。
中間工程では裏面吸着、出荷工程ではエッジグリップも可能。

本装置は、ウエハエッジの輪郭形状の測定を目的としたプロファイル検査機。
オリフラもしくはノッチを自動認識してレシピに基づいて自動測定を行います。

本装置は、ウエハ表裏のパターンズレ測定、線幅測定、顕微鏡観察を目的としたパターンズレ検査機。
表裏面の同一座標にオートフォーカス機能でピント自動調整し、パターン検出後にマッチングを行い
表裏面のパターン中心ズレ、微小線幅を高精度自動測定を行います。